一台光刻机可以很贵,一座晶圆厂可以很大,最后进入曝光场的,却是一块边长约152毫米的精密版材。光刻机不会替人纠错。掩膜上的电路图形会被反复转移,落在关键位置的缺陷,也可能随着曝光反复出现在晶圆上。这张“底片”的起点,就是空白掩膜版。它没有电路图形,看起来也不像一台复杂设备。但要把一块基板做得足够平、足够净,再让每一层薄膜的厚度、成分和光学性能保持一致,全球能长期稳定供货的公司一直不多。问题也就来了