中微公司先进薄膜设备业务迎来重要里程碑,设备累计出货突破500个反应台,彰显国产半导体设备强劲实力。

本次出货产品矩阵丰富,覆盖多款核心机型,包含低压化学气相沉积( LPCV D)设备、金属薄膜沉积(MDP)设备、介质薄膜沉积(DDP)设备。多品类设备落地,进一步完善公司薄膜设备布局。

薄膜沉积是芯片制造的关键工艺环节,反应台出货量是衡量设备商业化落地能力的核心指标。500个反应台的突破,代表中微相关产品获得市场验证,国产薄膜设备产业化进程提速,有望持续受益国内晶圆厂扩产浪潮。

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