泓川证券｜华虹牵手设备四龙头！集成电路国产化提速
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10月12日，第26届中国国际工业博览会在国家会展中心（上海）启幕，作为全新升级的独立专业展，2026国芯展以"芯链工业，强芯筑基"为主题，在3万平方米展馆内汇聚300余家覆盖设计、制造、封测、设备材料、应用生态的产业链企业。
本届展会最大看点之一是华虹集团战略合作签约仪式。现场，华虹集团分别与北方华创、中微公司、盛美上海、华海清科四家产业链企业签署战略合作协议。四家企业覆盖沉积、刻蚀、单片清洗、化学机械抛光（CMP）等集成电路前道核心装备赛道，是国内成熟制程与特色工艺领域国产设备的主力供应商，此次集中签约释放出国产装备加速工艺适配、迭代优化与规模化导入的信号。
产业数据同样印证国产替代的确定性。上海市经济信息化委主任汤文侃在致辞中表示，2025年上海集成电路产业规模接近5800亿元，占全国的30%，今年1至8月同比增速超过20%，全市集聚集成电路企业超过1200家，汇聚全国近40%的产业人才。
设备端的技术突破也在密集落地。中微公司现场展出新发布的Primo XD-RIE极高深宽比刻蚀设备与Prime Unicore AM 12英寸ALD钼设备，前者以70到90比1的极高深宽比适配先进存储芯片制造，后者填补了公司原子层沉积钼工艺的技术空白。
机构：半导体设备迎新超级周期
集成电路是将晶体管、电阻、电容等元器件通过半导体工艺集成于衬底上的微型电子器件，是算力、存储及各行业智能化的基础底座。当前，制程演进逼近物理边界，产业增长动力正从单点技术突破转向全链条协同，设备国产化成为破局关键。
"半导体国产设备及零部件端订单快速增长、交付偏紧。"中信证券指出， SEMI 预计2026年全球半导体设备销售额将创1659亿美元新高，同比增长23.2%，到2028年市场规模将达2295亿美元。
本届展会最大看点之一是华虹集团战略合作签约仪式。现场，华虹集团分别与北方华创、中微公司、盛美上海、华海清科四家产业链企业签署战略合作协议。四家企业覆盖沉积、刻蚀、单片清洗、化学机械抛光（CMP）等集成电路前道核心装备赛道，是国内成熟制程与特色工艺领域国产设备的主力供应商，此次集中签约释放出国产装备加速工艺适配、迭代优化与规模化导入的信号。
产业数据同样印证国产替代的确定性。上海市经济信息化委主任汤文侃在致辞中表示，2025年上海集成电路产业规模接近5800亿元，占全国的30%，今年1至8月同比增速超过20%，全市集聚集成电路企业超过1200家，汇聚全国近40%的产业人才。
设备端的技术突破也在密集落地。中微公司现场展出新发布的Primo XD-RIE极高深宽比刻蚀设备与Prime Unicore AM 12英寸ALD钼设备，前者以70到90比1的极高深宽比适配先进存储芯片制造，后者填补了公司原子层沉积钼工艺的技术空白。
机构：半导体设备迎新超级周期
集成电路是将晶体管、电阻、电容等元器件通过半导体工艺集成于衬底上的微型电子器件，是算力、存储及各行业智能化的基础底座。当前，制程演进逼近物理边界，产业增长动力正从单点技术突破转向全链条协同，设备国产化成为破局关键。
"半导体国产设备及零部件端订单快速增长、交付偏紧。"中信证券指出， SEMI 预计2026年全球半导体设备销售额将创1659亿美元新高，同比增长23.2%，到2028年市场规模将达2295亿美元。
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