光刻机概念核心公司

（一）整机
张江高科：持股上海微电子10.779%的股份
上海电气：母公司上海微电子第一大股东
东方明珠：通过间接持股上海微电子
奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机

（二）光源
波长光电：光刻机平行光源系统
茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机
福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商

（三）光学器件
腾景科技：多波段合分束器已进入