历史性时刻:国产光刻机第500台交付

2025年8月8日,上海芯上微装科技股份有限公司(AMIES)举办第500台步进光刻机交付仪式,这不仅是公司发展的重要里程碑,更是我国高端半导体装备产业的历史性突破。

光刻机被誉为半导体制造的"皇冠明珠",技术复杂度极高,长期被国外巨头垄断。AMIES实现500台交付,充分彰显其技术攻坚实力——科研团队攻克精密光学系统、高精度运动控制等关键技术难题,使我国