1. 硅片（基底）
龙头：沪硅产业、立昂微、有研硅

2. 光刻胶
g/i线、KrF、ArF；龙头：南大光电、彤程新材、晶瑞电材

3. 电子特种气体
外延、刻蚀、掺杂；龙头：华特气体、南大光电、雅克科技

4. 溅射靶材（金属薄膜）
铜、铝、钽、钛；龙头：江丰电子、有研新材

5. CMP抛光材料
抛光液+抛光垫；龙头：安集科技、鼎龙股份

6. 湿电子化学品（超纯试剂）
硫酸、双氧水、显影液；龙头：江化微、格林达

7. 掩膜版（光罩）
龙头：清溢光电、路维光电

8. 前驱体MO源（外延生长）
龙头：南大光电、雅克科技

9. 陶瓷/石英零部件
刻蚀腔体配件；龙头：菲利华、欧莱新材

10. 封装材料
塑封料、基板、引线框架；龙头：长电配套材料、康强电子