供应商

一、三大供货产品线（均已量产供货）

1. MO源 / ALD前驱体
超高纯前驱材料，用于3D NAND薄膜堆叠工艺，适配长存232层、294层先进堆叠，长期稳定大批量供货，属于核心耗材，晶圆产能越高消耗量越大。

2. 高纯电子特气（磷烷、砷烷、三氟化氮等）
用于刻蚀、清洗、掺杂工艺，是南大光电传统优势业务，和长存签订长期供货框架，持续上机消耗。

3. ArF（193nm）光刻胶
完