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美国科技媒体《The Information》独家报道:上海国资背景企业(上海宇量昇)已启动 193nm 浸没式 DUV(28nm 工艺)光刻机小批量生产。(并非上海微电子2026年1月已大规模放量的干式 DUV)[淘股吧]美股 ASML 大跌宇量昇概念股:波长光电、新莱应材、至纯科技、南大光电
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