| 截止日期 | 2026-03-31 |
|---|---|
| 发布日期 | 2026-04-28 |
| 股东 序号 |
股东名称 | 股份 类型 |
持股数量 | 持股比例 | 持股增减 | 变动比率 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 流通A股 | 46,591,776 | 16.500 | 不变 | -- |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 流通A股 | 37,888,000 | 13.420 | 不变 | -- |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 流通A股 | 19,115,337 | 6.770 | -549631 | -2.795 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 流通A股 | 12,054,668 | 4.270 | 4423763 | 57.972 |
| 5 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 5,833,689 | 2.070 | -754653 | -11.454 |
| 6 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 流通A股 | 4,285,398 | 1.520 | 不变 | -- |
| 7 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 3,844,562 | 1.360 | 新进 | -- |
| 8 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 3,538,567 | 1.250 | -296404 | -7.729 |
| 9 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 3,178,275 | 1.130 | -2990281 | -48.476 |
| 10 | 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 流通A股 | 2,596,036 | 0.920 | 新进 | -- |
| 截止日期 | 2025-09-30 |
|---|---|
| 发布日期 | 2025-10-31 |
| 股东 序号 |
股东名称 | 股份 类型 |
持股数量 | 持股比例 | 持股增减 | 变动比率 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 流通A股 | 55,026,693 | 19.570 | 不变 | -- |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 流通A股 | 37,888,000 | 13.480 | 不变 | -- |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 流通A股 | 20,516,305 | 7.300 | 不变 | -- |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 流通A股 | 5,120,508 | 1.820 | -1707239 | -25.004 |
| 5 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 5,081,591 | 1.810 | -708657 | -12.239 |
| 6 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 4,901,502 | 1.740 | -2892307 | -37.110 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 流通A股 | 4,287,406 | 1.520 | -261415 | -5.747 |
| 8 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 流通A股 | 4,285,398 | 1.520 | 不变 | -- |
| 9 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 3,175,697 | 1.130 | -146153 | -4.400 |
| 10 | CHIANG CHIEN | 流通A股 | 2,703,588 | 0.960 | 新进 | -- |
| 截止日期 | 2025-06-30 |
|---|---|
| 发布日期 | 2025-08-26 |
| 股东 序号 |
股东名称 | 股份 类型 |
持股数量 | 持股比例 | 持股增减 | 变动比率 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 流通A股 | 55,026,693 | 19.670 | 不变 | -- |
| 2 | 国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 流通A股 | 37,888,000 | 13.540 | 不变 | -- |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 流通A股 | 20,516,305 | 7.330 | 不变 | -- |
| 4 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 7,793,809 | 2.790 | -80166 | -1.018 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 | 流通A股 | 6,827,747 | 2.440 | 1192561 | 21.163 |
| 6 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 5,790,248 | 2.070 | 192545 | 3.440 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 流通A股 | 4,548,821 | 1.630 | -184731 | -3.903 |
| 8 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 流通A股 | 4,285,398 | 1.530 | 不变 | -- |
| 9 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 流通A股 | 3,321,850 | 1.190 | 新进 | -- |
| 10 | 共青城芯鑫和投资合伙企业(有限合伙) | 流通A股 | 3,024,934 | 1.080 | 不变 | -- |