| 截止日期 | 2026-06-30 |
|---|---|
| 更新日期 | 2026-08-31 |
| 股东 序号 |
股东名称 | 股东 性质 |
持股数量 | 持股比例 | 持股增减 | 变动比率 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 其它 | 19,271,900 | 17.786 | -1299232 | -6.316 |
| 2 | 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 私募基金 | 3,548,181 | 3.275 | -1956490 | -35.542 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 其它 | 2,927,036 | 2.701 | 不变 | -- |
| 4 | 上海超越摩尔股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 私募基金 | 2,205,882 | 2.036 | 不变 | -- |
| 5 | 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 私募基金 | 2,205,882 | 2.036 | 不变 | -- |
| 6 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 证券投资基金 | 2,067,660 | 1.908 | 新进 | -- |
| 7 | 国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 证券投资基金 | 1,935,600 | 1.786 | 新进 | -- |
| 8 | 易方达供给改革灵活配置混合型证券投资基金 | 证券投资基金 | 1,706,836 | 1.575 | 新进 | -- |
| 9 | 中微半导体(上海)有限公司 | 其它 | 1,657,422 | 1.530 | 不变 | -- |
| 10 | 长三角(嘉善)股权投资合伙企业(有限合伙) | 私募基金 | 1,484,729 | 1.370 | 不变 | -- |
| 截止日期 | 2026-03-31 |
|---|---|
| 更新日期 | 2026-04-30 |
| 股东 序号 |
股东名称 | 股东 性质 |
持股数量 | 持股比例 | 持股增减 | 变动比率 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙) | 其它 | 20,571,132 | 18.986 | -5122015 | -19.935 |
| 2 | 聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙) | 私募基金 | 5,504,671 | 5.080 | -199406 | -3.496 |
| 3 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 其它 | 2,927,036 | 2.701 | 不变 | -- |
| 4 | 北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 私募基金 | 2,608,882 | 2.408 | 不变 | -- |
| 5 | 上海超越摩尔股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 投资公司 | 2,205,882 | 2.036 | 不变 | -- |
| 6 | 上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 投资公司 | 2,205,882 | 2.036 | 不变 | -- |
| 7 | 华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划 | 集合理财计划 | 1,971,642 | 1.820 | -1880128 | -48.812 |
| 8 | 中微半导体(上海)有限公司 | 其它 | 1,657,422 | 1.530 | 不变 | -- |
| 9 | 长三角(嘉善)股权投资合伙企业(有限合伙) | 投资公司 | 1,484,729 | 1.370 | 新进 | -- |
| 10 | 深圳市创新投资集团有限公司 | 投资公司 | 1,463,519 | 1.351 | 新进 | -- |
| 截止日期 | 2025-09-30 |
|---|---|
| 更新日期 | 2025-10-30 |
| 股东 序号 |
股东名称 | 股东 性质 |
持股数量 | 持股比例 | 持股增减 | 变动比率 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 证券投资基金 | 921,458 | 2.277 | 新进 | -- |
| 2 | 招商银行股份有限公司-南方科创板3年定期开放混合型证券投资基金 | 证券投资基金 | 712,896 | 1.761 | 不变 | -- |
| 3 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 证券投资基金 | 649,791 | 1.605 | 不变 | -- |
| 4 | 曲劲凡 | 个人 | 560,000 | 1.384 | 不变 | -- |
| 5 | 凡章 | 个人 | 310,000 | 0.766 | 66568 | 27.346 |
| 6 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 证券投资基金 | 306,317 | 0.757 | 新进 | -- |
| 7 | 刘宜超 | 个人 | 272,250 | 0.673 | 新进 | -- |
| 8 | 程萍 | 个人 | 232,076 | 0.573 | 新进 | -- |
| 9 | 林煌 | 个人 | 230,000 | 0.568 | 新进 | -- |
| 10 | 厉炯慧 | 个人 | 228,795 | 0.565 | 新进 | -- |