半导体设备概念股全产业链梳理
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周末的核心叙事就是三星电子、SK集团与美企签下9500亿美元半导体大单,叠加周一长鑫科技即将上市的消息。
7月25日电,韩国总统政策办公室主任金容范在新闻发布会上宣布,三星电子和博通公司签署了一份谅解备忘录,就代工合作达成协议,将在未来五年内供应价值2000亿美元的先进存储半导体,并生产人工智能芯片;SK集团决定在未来五年内,与包括英伟达在内的全球大型科技公司开展总价值7500亿美元的先进存储半导体长期供应合作。报道称,数据中心合作也将启动。
美韩半导体大单与长鑫科技上市融资扩产,对半导体设备概念股整体构成中长期确定性利好,核心逻辑是全球存储超级扩产周期+国产替代加速双击,设备环节作为晶圆厂资本开支的最先受益方,订单能见度和业绩弹性显著提升。
一、核心驱动逻辑拆解。
1、长鑫IPO引爆国产Capex周期:长鑫科技拟募资295亿元,其中约220.66亿元用于设备购置及安装,上市后将开启新一轮大规模扩产。存储产线设备投资占比超70%,直接拉动刻蚀、薄膜沉积、CMP、清洗、测试等设备需求,2026–2027年是国产设备黄金导入窗口期。
2、美韩大单验证全球超级周期:博通拿下苹果巨额芯片大单、三星与SK海力士合计超3万亿美元十年扩产计划,叠加HBM产能挤占效应,全球存储原厂集体加码资本开支。 ASML 上调营收指引、设备商开启涨价周期,说明设备端已从买方市场转向卖方市场,国内设备厂同步受益于全球景气度与外溢订单。
3、国产替代渗透率加速提升:长鑫作为国内 DRAM 龙头,对国产设备验证导入具有标杆效应。扩产节奏下,设备采购国产化率势必提升,给国内头部半导体设备企业提供宝贵试错场景与迭代数据,技术可行性向商业可行性转化。
二、半导体设备概念股全产业链梳理。
1、前道晶圆制造整机设备(芯片制造核心主机,国产替代核心赛道)
(1)平台型综合设备商
北方华创( 002371 ):国内唯一全品类半导体设备平台龙头,覆盖刻蚀、PVD 薄膜、氧化扩散炉管、湿法清洗、离子注入五大前道核心设备;供货中芯、长鑫、长江存储,成熟制程大批量导入,先进制程持续验证。
托伦斯( 301583 ):半导体设备上游精密金属零部件专精特新企业,主营刻蚀、薄膜沉积、CMP、退火设备配套真空腔体、匀气盘、冷盘、内衬、静电卡盘基体等高壁垒工艺结构件。
(2)刻蚀设备
中微公司( 688012 ):全球刻蚀第一梯队,介质 CCP 刻蚀龙头;5nm 刻蚀机进入台积电产线,3D NAND、DRAM 深沟槽、HBM 堆叠 TSV 刻蚀国产核心设备,存储产线核心供应商。
屹唐股份( 688729 ):干法去胶、等离子刻蚀、热处理设备厂商,成熟制程、存储产线批量导入,配套晶圆制造刻蚀后清洗工序。
(3)薄膜沉积设备(CVD/ALD/PVD)
拓荆科技( 688072 ):国内 PECVD 设备唯一量产龙头,覆盖 PECVD/ALD/SACVD,DRAM 电容层、3D NAND 薄膜核心设备,长鑫、长存主力供货,受益 HBM 先进封装扩产。
微导纳米( 688147 ):国产 ALD 原子层沉积设备龙头,适配先进逻辑、存储、先进封装混合键合薄膜工艺,薄膜沉积高端细分突破标的。
(4)涂胶显影 / 光刻配套设备
芯源微( 688037 ):国内稀缺前道涂胶显影设备厂商,光刻工序必备设备;同时布局先进封装涂胶、清洗设备,批量导入国内 12 英寸晶圆厂。
芯碁微装( 688630 ):直写光刻(LDI)全球龙头,无需掩膜版,适配先进封装 RDL 层、扇出封装、面板级芯片,AI 算力先进封装核心设备商。
(5)清洗设备
盛美上海( 688082 ):单片式湿法清洗、电镀设备龙头,SAPS/TEBO 清洗技术全球领先;配套存储、逻辑晶圆制造,同时布局先进封装电镀设备,长存长鑫核心供应商上海证券交...。
至纯科技( 603690 ):槽式湿法清洗设备厂商,同步布局高纯工艺气体输送系统,覆盖 8/12 英寸成熟制程晶圆清洗,配套泛半导体产线。
(6)CMP 化学机械抛光
华海清科( 688120 ):国内唯一实现 12 英寸 CMP 抛光设备量产企业,晶圆平坦化刚需设备,国内市占率超 70%,存储、逻辑产线全面导入。
(7)离子注入设备
先导基电( 600641 ):旗下凯世通为国产离子注入龙头,12 英寸高能离子注入机实现量产,28nm 制程通过中芯验证,覆盖逻辑、存储掺杂工艺。
(8)长晶 / 炉管配套
晶升股份( 688478 ):半导体硅片长晶炉设备厂商,12 英寸单晶硅生长炉国产替代标的,配套上游硅片制造环节。
2、量测 / 检测设备(晶圆缺陷、膜厚、电性检测)
中科飞测( 688361 ):国产综合量测检测龙头,覆盖光学缺陷检测、膜厚测量、电子束检测;国内唯一突破 14nm 电子束检测,对标海外 KLA,存储产线批量供货上海证券交...。
精测电子( 300567 ):半导体 AOI 光学检测、EUV 掩膜检测设备厂商,布局晶圆、面板、存储多赛道检测设备,配套前后道全流程质检。
赛腾股份( 603283 ):晶圆自动检测、晶圆清洗搬运设备,半导体自动化检测配套设备商。
3、后道封测 / 测试整机设备(芯片封装、电性测试)
(1)集成电路测试设备
长川科技( 300604 ):国内测试设备平台龙头,唯一覆盖测试机、分选机、探针台、AOI 全品类;覆盖模拟、数字、功率、存储芯片测试,AI 算力芯片测试核心标的。
华峰测控( 688200 ):模拟 / 数模混合信号测试机龙头,功率半导体测试设备壁垒高,高端 SoC 测试机持续突破,毛利率行业领先。
金海通( 603061 ):半导体分选机龙头,封装后芯片自动分选设备,适配存储、逻辑、功率芯片封测产线。
矽电股份( 301629 ):晶圆探针台专精企业,CP 晶圆测试核心设备,适配存储、AI 芯片、功率半导体探针检测。
联动科技( 301369 ):功率半导体、光电子芯片测试设备厂商,IGBT、MO SFET 测试设备国产替代标的。
(2)先进封装设备
快克智能( 603203 ):TCB 热压键合设备稀缺国产厂商,HBM、CoWoS 光电共封装核心设备,深度受益 AI 先进封装浪潮。
新益昌( 688383 ):半导体固晶机龙头,覆盖倒装芯片、功率器件、巨量转移固晶设备,先进封装核心配套。
凯格精机( 301338 ):锡膏印刷设备全球龙头,布局半导体固晶、微组装设备,适配 IGBT、先进封装产线。
4、半导体设备核心零部件 / 配套设备(设备上游精密结构件、真空、气体配套)
富创精密( 688409 ):国内半导体精密零部件龙头,为刻蚀、薄膜、清洗设备供应静电卡盘、匀气盘、腔体结构件,覆盖国内绝大多数设备主机厂上海证券交...。
京仪装备(688652):半导体真空机械手、晶圆搬运设备厂商,12 英寸晶圆传输机械手国产主力,配套各类前道整机设备。
先锋精科( 688605 ):刻蚀、薄膜沉积设备核心工艺配件供应商,气体分配、精密喷嘴等耗材零部件国产替代标的。
中科仪(920186):半导体真空设备龙头,分子泵、真空计,晶圆制造、封装设备必备真空配套。
富乐德(301297):半导体设备精密洗净、镀膜配套服务,设备腔体、零部件再生清洗厂商。
奥普光电( 002338 ):光刻机核心光学组件供应商,配套国产 DUV 光刻机光学系统研发制造。
张江高科( 600895 ):参股国内光刻机研发主体上海微电子,布局光刻设备产业链投资。
7月25日电,韩国总统政策办公室主任金容范在新闻发布会上宣布,三星电子和博通公司签署了一份谅解备忘录,就代工合作达成协议,将在未来五年内供应价值2000亿美元的先进存储半导体,并生产人工智能芯片;SK集团决定在未来五年内,与包括英伟达在内的全球大型科技公司开展总价值7500亿美元的先进存储半导体长期供应合作。报道称,数据中心合作也将启动。
美韩半导体大单与长鑫科技上市融资扩产,对半导体设备概念股整体构成中长期确定性利好,核心逻辑是全球存储超级扩产周期+国产替代加速双击,设备环节作为晶圆厂资本开支的最先受益方,订单能见度和业绩弹性显著提升。
一、核心驱动逻辑拆解。
1、长鑫IPO引爆国产Capex周期:长鑫科技拟募资295亿元,其中约220.66亿元用于设备购置及安装,上市后将开启新一轮大规模扩产。存储产线设备投资占比超70%,直接拉动刻蚀、薄膜沉积、CMP、清洗、测试等设备需求,2026–2027年是国产设备黄金导入窗口期。
2、美韩大单验证全球超级周期:博通拿下苹果巨额芯片大单、三星与SK海力士合计超3万亿美元十年扩产计划,叠加HBM产能挤占效应,全球存储原厂集体加码资本开支。 ASML 上调营收指引、设备商开启涨价周期,说明设备端已从买方市场转向卖方市场,国内设备厂同步受益于全球景气度与外溢订单。
3、国产替代渗透率加速提升:长鑫作为国内 DRAM 龙头,对国产设备验证导入具有标杆效应。扩产节奏下,设备采购国产化率势必提升,给国内头部半导体设备企业提供宝贵试错场景与迭代数据,技术可行性向商业可行性转化。
二、半导体设备概念股全产业链梳理。
1、前道晶圆制造整机设备(芯片制造核心主机,国产替代核心赛道)
(1)平台型综合设备商
北方华创( 002371 ):国内唯一全品类半导体设备平台龙头,覆盖刻蚀、PVD 薄膜、氧化扩散炉管、湿法清洗、离子注入五大前道核心设备;供货中芯、长鑫、长江存储,成熟制程大批量导入,先进制程持续验证。
托伦斯( 301583 ):半导体设备上游精密金属零部件专精特新企业,主营刻蚀、薄膜沉积、CMP、退火设备配套真空腔体、匀气盘、冷盘、内衬、静电卡盘基体等高壁垒工艺结构件。
(2)刻蚀设备
中微公司( 688012 ):全球刻蚀第一梯队,介质 CCP 刻蚀龙头;5nm 刻蚀机进入台积电产线,3D NAND、DRAM 深沟槽、HBM 堆叠 TSV 刻蚀国产核心设备,存储产线核心供应商。
屹唐股份( 688729 ):干法去胶、等离子刻蚀、热处理设备厂商,成熟制程、存储产线批量导入,配套晶圆制造刻蚀后清洗工序。
(3)薄膜沉积设备(CVD/ALD/PVD)
拓荆科技( 688072 ):国内 PECVD 设备唯一量产龙头,覆盖 PECVD/ALD/SACVD,DRAM 电容层、3D NAND 薄膜核心设备,长鑫、长存主力供货,受益 HBM 先进封装扩产。
微导纳米( 688147 ):国产 ALD 原子层沉积设备龙头,适配先进逻辑、存储、先进封装混合键合薄膜工艺,薄膜沉积高端细分突破标的。
(4)涂胶显影 / 光刻配套设备
芯源微( 688037 ):国内稀缺前道涂胶显影设备厂商,光刻工序必备设备;同时布局先进封装涂胶、清洗设备,批量导入国内 12 英寸晶圆厂。
芯碁微装( 688630 ):直写光刻(LDI)全球龙头,无需掩膜版,适配先进封装 RDL 层、扇出封装、面板级芯片,AI 算力先进封装核心设备商。
(5)清洗设备
盛美上海( 688082 ):单片式湿法清洗、电镀设备龙头,SAPS/TEBO 清洗技术全球领先;配套存储、逻辑晶圆制造,同时布局先进封装电镀设备,长存长鑫核心供应商上海证券交...。
至纯科技( 603690 ):槽式湿法清洗设备厂商,同步布局高纯工艺气体输送系统,覆盖 8/12 英寸成熟制程晶圆清洗,配套泛半导体产线。
(6)CMP 化学机械抛光
华海清科( 688120 ):国内唯一实现 12 英寸 CMP 抛光设备量产企业,晶圆平坦化刚需设备,国内市占率超 70%,存储、逻辑产线全面导入。
(7)离子注入设备
先导基电( 600641 ):旗下凯世通为国产离子注入龙头,12 英寸高能离子注入机实现量产,28nm 制程通过中芯验证,覆盖逻辑、存储掺杂工艺。
(8)长晶 / 炉管配套
晶升股份( 688478 ):半导体硅片长晶炉设备厂商,12 英寸单晶硅生长炉国产替代标的,配套上游硅片制造环节。
2、量测 / 检测设备(晶圆缺陷、膜厚、电性检测)
中科飞测( 688361 ):国产综合量测检测龙头,覆盖光学缺陷检测、膜厚测量、电子束检测;国内唯一突破 14nm 电子束检测,对标海外 KLA,存储产线批量供货上海证券交...。
精测电子( 300567 ):半导体 AOI 光学检测、EUV 掩膜检测设备厂商,布局晶圆、面板、存储多赛道检测设备,配套前后道全流程质检。
赛腾股份( 603283 ):晶圆自动检测、晶圆清洗搬运设备,半导体自动化检测配套设备商。
3、后道封测 / 测试整机设备(芯片封装、电性测试)
(1)集成电路测试设备
长川科技( 300604 ):国内测试设备平台龙头,唯一覆盖测试机、分选机、探针台、AOI 全品类;覆盖模拟、数字、功率、存储芯片测试,AI 算力芯片测试核心标的。
华峰测控( 688200 ):模拟 / 数模混合信号测试机龙头,功率半导体测试设备壁垒高,高端 SoC 测试机持续突破,毛利率行业领先。
金海通( 603061 ):半导体分选机龙头,封装后芯片自动分选设备,适配存储、逻辑、功率芯片封测产线。
矽电股份( 301629 ):晶圆探针台专精企业,CP 晶圆测试核心设备,适配存储、AI 芯片、功率半导体探针检测。
联动科技( 301369 ):功率半导体、光电子芯片测试设备厂商,IGBT、MO SFET 测试设备国产替代标的。
(2)先进封装设备
快克智能( 603203 ):TCB 热压键合设备稀缺国产厂商,HBM、CoWoS 光电共封装核心设备,深度受益 AI 先进封装浪潮。
新益昌( 688383 ):半导体固晶机龙头,覆盖倒装芯片、功率器件、巨量转移固晶设备,先进封装核心配套。
凯格精机( 301338 ):锡膏印刷设备全球龙头,布局半导体固晶、微组装设备,适配 IGBT、先进封装产线。
4、半导体设备核心零部件 / 配套设备(设备上游精密结构件、真空、气体配套)
富创精密( 688409 ):国内半导体精密零部件龙头,为刻蚀、薄膜、清洗设备供应静电卡盘、匀气盘、腔体结构件,覆盖国内绝大多数设备主机厂上海证券交...。
京仪装备(688652):半导体真空机械手、晶圆搬运设备厂商,12 英寸晶圆传输机械手国产主力,配套各类前道整机设备。
先锋精科( 688605 ):刻蚀、薄膜沉积设备核心工艺配件供应商,气体分配、精密喷嘴等耗材零部件国产替代标的。
中科仪(920186):半导体真空设备龙头,分子泵、真空计,晶圆制造、封装设备必备真空配套。
富乐德(301297):半导体设备精密洗净、镀膜配套服务,设备腔体、零部件再生清洗厂商。
奥普光电( 002338 ):光刻机核心光学组件供应商,配套国产 DUV 光刻机光学系统研发制造。
张江高科( 600895 ):参股国内光刻机研发主体上海微电子,布局光刻设备产业链投资。
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